UygulamasıMolibden KılcalALD Sürecinde
Atomik katman biriktirme (ALD), yarı iletkenler, görüntü panelleri ve gelişmiş paketleme alanlarındaki en hassas ince film üretim teknolojilerinden biridir. Farklı öncü gazlarla dönüşümlü olarak atom ölçeğinde tekdüze, yoğun ve iğne deliği olmayan-ince film birikimi elde edilebilir. Tüm süreç, gaz dağıtım sisteminin son derece yüksek hassasiyetini, saflığını ve yüksek sıcaklık stabilitesini gerektirir ve molibden kılcal, bu sistemin vazgeçilmez bir anahtar bileşenidir.
1. Ana uygulama yeri
Öncü gaz enjeksiyon tüpü: ALD ekipmanı genellikle metal-organik öncüllerin (örneğin, TMA, TDMAH, vb.) ve reaksiyon gazlarının (örneğin, O3, H2O, NH3) reaksiyon odasına hassas bir şekilde iletilmesini gerektirir. Küçük iç çapları (genellikle 0.2- 2 mm aralığında) ve tek biçimli duvar kalınlıkları nedeniyle, molibden kılcal damarları, hızlı gaz tepkisi ve hassas dağıtım sağlayabilen, sprey kafasının yakınında enjeksiyon boru hatları olarak yaygın şekilde kullanılır.
Darbe Valfı Aşağı Akış Dağıtım Borusu: Valfi hızlı bir şekilde değiştirdikten sonra, molibden kapiler gazı ve darbe kuyruğunu etkili bir şekilde tutabilir ve her döngüde yüksek derecede doz tutarlılığı sağlar.
Yüksek-sıcaklık izolasyonu ve koruma tüpü: Bazı ALD ekipmanlarının yüksek-sıcaklık tabanının yakınına yerleştirilmesi gerekir. Molibden kılcal boru, 500-1200 derecelik çalışma sıcaklığına dayanabilir ve filmi kirletecek metal iyonlarını serbest bırakmaz.
2. Temel teknoloji avantajları
Yüksek sıcaklık stabilitesi: ALD işlemi genellikle 200-500 derece ve hatta daha yüksek sıcaklıklarda gerçekleştirilir. Sıradan paslanmaz çelik veya kuvars tüpler kullanım sırasında parçacıklara veya deformasyona eğilimliyken, molibden kılcal tüpler stabil çalışabilir.
Yüksek saflık ve düşük yağış: Yüksek saflıkta molibden (%99,95'in üzerinde) son derece düşük safsızlık içeriğine sahiptir ve filmin elektriksel özelliklerini etkileyen karbon, oksijen ve diğer elementleri reaksiyon gazına sokmaz.
Mükemmel termal iletkenlik ve termal şok direnci: Boşluk sıcaklığı değişikliklerini, yoğunlaşmayı veya öncüllerin ayrışmasını hızlı bir şekilde takip edebilir.
Yüksek boyutsal doğruluk: Farklı boşluklar arasındaki gaz akışının tutarlılığını sağlamak için iç çap ve duvar kalınlığı toleransları sıkı bir şekilde kontrol edilir; bu, özellikle kitlesel-üretilmiş büyük{- boyutlu levhalar (300 mm gibi) için önemlidir.
3. Gerçek işçilik değeri
Yüksek-k geçit dielektriklerinin (HfO2, ZrO2), metal geçitlerin, bariyer katmanlarının (TiN, TaN) ve ortaya çıkan 2 boyutlu malzemelerin biriktirilmesinde molibden kılcal damarlarının kullanımı önemli ölçüde iyileştirilebilir:
-film kalınlığı tekdüzeliği (Gofret Tekdüzeliği-İçinde)
-partiler arası-tekrarlanabilirlik
-Ekipman çalışma döngüsü (boru hattı kirlenmesi nedeniyle bakım)
Şu anda, uluslararası ana akım ALD ekipman tedarikçilerinin (ASM, Veeco, LAM vb. gibi) bazı üst düzey modellerinin yanı sıra birçok yerli fabrikanın ileri proses üretim hatları, temel gaz yollarında molibden kılcal damarlarına öncelik vermektedir.
Özet
Molibden kılcal damarı ALD sisteminde yalnızca küçük bir parça olmasına rağmen, gaz dağıtımının "son mil" doğruluğu ve güvenilirliği ile doğrudan ilişkilidir. Günümüzde ALD süreci giderek daha yüksek tekdüzelik, düşük kusur ve yüksek çıktı peşinde koşuyor ve sürecin istikrarını sağlamak için önemli bir destek haline geldi.
ALD ekipman seçimi, dönüşümü veya süreç optimizasyonu sürecindeyseniz özel öncü türü, çalışma sıcaklığı ve boru çapı gereksinimlerini sağlamaktan memnuniyet duyarız; Seçimin kilit noktalarını daha hedefe yönelik bir şekilde analiz etmenize yardımcı olabilirim.
İSİM
Ava
E-posta
