MolibdenMhataPanel

Modern yarı iletken işlemlerde, yüksek-tek biçimli vakum kaplama (PVD/CVD), safir kristal büyütme termal alanı ve ultra-yüksek sıcaklıkta yüksek vakum fırınlarında (UHV Fırınlar), ekipmanın içinde son derece yüksek düzeyde termal radyasyon verimliliği, malzeme buharlaşması ve yüzey çapraz-kontaminasyon kontrolü vardır. eşik. Geleneksel işlenmiş veya dekapajlı metal plakaların yüzeyindeki mikroskobik Pürüzlülük nedeniyle, artık gazı absorbe etmek ve gaz çıkış oranının artmasına neden olmak sadece kolay olmakla kalmaz, aynı zamanda termal radyasyon yansıtma özelliği de hassas sıcaklık kontrolü indeksine ulaşmaktan çok uzaktır.

Şekilde gösterildiği gibi, yüksek-performanslı ayna-cilalı molibden levhalarımız (Yüksek-Saflıkta Ayna Cilalı Molibden Levhalar), temel malzeme olarak kesinlikle %100 yüksek-kaliteli ve yüksek-saflıkta ASTM B386 boş molibden (saflık %99. 95'den büyük veya eşittir) kullanır. Büyük deformasyona sahip çok-geçişli Soğuk Haddeleme ve ara yeniden kristalleştirme tavlamasından sonra, yüzeye çiziksiz-ücretsiz bir mekanik-kimyasal parlatma işlemi (CMP-Kimyasal Mekanik Parlatma) uygulandı. Bu ürün serisi mükemmel Ayna-Benzer Kaplama (Ayna-Like Finish), son derece düşük vakum boşaltma hızına ve mükemmel yüksek-sıcaklıkta sürünme direncine sahiptir ve dünyanın son teknoloji yarı iletken semente karbür ve yüksek-basınçlı vakum sıvı sistemleri için son derece saf ve verimli bir sistem oluşturmuştur. Sıcaklık-kontrollü mikro.

I. Mükemmel temel avantajlar (Elit Mühendislik Avantajları)

Üst-düzey yansıtıcılık ve yüksek-verimli ısı yalıtımı: Resimde gösterilen yüzeyin yüksek-parlaklıktaki yansıma dokusuyla birleştiğinde, çok-aşamalı ultra-ince öğütme teknolojisinin benimsenmesi nedeniyle, molibden levhanın yüzey pürüzlülüğü Ra'nın, yüksek-sıcaklıklı vakum fırınının çekirdeği olarak kullanılabilen nano seviyeye ulaştığı görülebilir. Reflektörler/Isı Kalkanları. Kızılötesi termal radyasyonun çoğunu reaksiyon bölgesine yüksek verimlilikle geri gönderebilir, önemli ölçüde enerji tüketebilir ve termal alan içindeki sıcaklık alanının tekdüzeliğini büyük ölçüde artırabilir.

Çok geçişli hassas soğuk haddeleme ve mikro yapı yoğunlaştırma: Saf molibden levhalarımız soğuk haddelemeye ve yüksek haddeleme kuvvetiyle açılmaya tabi tutulur, malzemenin içindeki gözenekler tamamen kapatılır ve taneler, haddeleme yönü boyunca oldukça yoğun, lifli geçmeli bir yapı oluşturur. Bu, onu 1100 derece -1700 dereceye kadar yüksek vakum sıcaklığında bile mükemmel Sarkma-Direnci ve matris sürünme sertliği yapar.

Sıfır Çıkışı-Gaz Çıkışı Hedefi: Asit- ile yıkanmış veya kumlanmış yüzeyler, "çukur etkisi" nedeniyle su moleküllerine ve uçucu hidrokarbonlara mikroskobik olarak duyarlıdır. Kusursuz ayna cilalı yüzeyimiz bir ayna gibidir; mikroskobik yüzey alanı oranını büyük ölçüde sıkıştırır, böylece yüksek vakum altında gaz salınım oranını (Çıkış-gazlanma Hızı) donma noktasına düşürür, yüksek-saflıktaki yarı iletken epitaksiyel büyümeyi herhangi bir artık gaz kirliliğinden etkili bir şekilde korur.

II. Temel teknik parametreler ve kimyasal bileşim matrisi (Teknik Parametre ve Kimya Matrisi)

Müşterilerin ve termal saha mühendislerinin yüksek-teknolojili malzemelerin izlenebilirliğine ilişkin katı gereksinimlerini karşılamak amacıyla temel temel bilgileri, kimyasal bileşimi ve mekanik parametreleri aşağıdaki şekilde sıraladık:

Teknik Parametre ve Kimya Matrisi

Boyutlar	Teknik Özellikler ve Matris
Temel Bilgiler
Malzeme Sınıfı	Mo1 (alaşımsız endüstriyel yüksek-saflıkta saf molibden-aşırı vakum altında yüksek termal iletkenlik ve saflık dikkate alınarak)
Standartlar	ASTM B386 (Molibden ve Molibden Alaşımlı Levha, Levha ve Folyo Spesifikasyonu), Tip 361/Tip 362
Durum	Tam gerilim giderme tavlaması veya hafif yeniden kristalleşme durumu (Gerilim-Gerilim Giderilmiş/Tavlanmış)
Yüzey İşlemi	Çift-taraflı/tek-taraflı ayna mekanokimyasal parlatma (Ayna Cilalı, Ra 0,6 μm'den az veya eşit)
Özellikler
Kalınlık	0,1 mm-2,0 mm (yüksek hassasiyetli folyodan orta ve ağır plaka sınıfına kadar özelleştirme mevcuttur)
Standart Genişlik x Uzunluk (G x U)	Normal 100mm x 300 mm, 500mm X 1000mm (Çizimlere göre lazer su jeti ile kesimi destekler)
Düzlük Toleransı	Eğilmeden geniş-alanlı montaj sağlamak için %2'ye eşit veya daha az Sıkı Düzlük kartı kontrolü
Mekanik	20 derecelik oda sıcaklığında gerilimin tamamen giderilmesinden sonra haddelenmiş matrislerin nihai mekanik davranışı
Çekme Dayanımı	550 MPa-850 MPa'dan büyük veya eşit (kalınlık ne kadar ince olursa, soğuk çalışma güçlendirmesinin verdiği Çekme Dayanımı da o kadar yüksek olur)
Akma Dayanımı	Büyük veya eşittir 450MPa
Uzama	%2-%10'a eşit veya daha büyük (haddeleme yönü boyunca makul soğuk iş deformasyon montaj marjı ile)
Kimya %	Molibden-bazlı saflık %99. 95'den büyük veya eşit, zararlı geçiş metalleri ve yarı iletkenlerdeki gaz safsızlıkları için sıkı kart kontrolü
Molibden Saflık Matrisi	Mo %99. 95'den büyük veya eşit (gaz elementleri ve zararlı metal safsızlıkları hariç)
Fe｜Ni｜Cr	Fe %0,005'ten az veya eşit\|Ni %0,003'e eşit veya daha az\|Cr %0,003'ten az veya buna eşit (yarı iletken plakaların difüzyon kontaminasyonunu bloke eder)
O İçerik Kontrolü	%0,003'e eşit veya daha az (tane sınırının peroksitlenmesini ve yüksek sıcaklıkta gevrek çatlamasını önlemek için 30 ppm'de sınırlama)
C｜N｜H	C %0,005'e eşit veya daha az\|N %0,002'den küçük veya eşit\|H %0,0005'e eşit veya daha az

III. Üretim Süreci ve Yüzey İşlemi

Toz metalurjisi ve izostatik presleme kalıplama: Yüksek-saflıkta plazma-derecesinde saf molibden tozu seçin, büyük bir izostatik prese (CIP) koyun ve yüzlerce MPa'lık yüksek basınç altında yoğun, kaba bir iş parçasına bastırın.

Yüksek vakumlu hidrojen korumalı sinterleme: Kompaktlar, orta frekanslı, yüksek-sıcaklıklı bir sinterleme fırınına gönderilir. Ultra-saf hidrojen (H2) akışının koruması altında, molibden kütüklerinin yoğunluğu, 2.000 derecenin üzerindeki yüksek-sıcaklık sinterleme düzenlemesi yoluyla teorik yoğunluğun %98'inden fazlasına ulaşabilir.

Çok-geçişli hassas ısıtma Çapraz-Haddeleme: yüksek sıcaklıkta haddelemeye ve açmaya başlayın ve ardından çok-geçişli Çapraz-Haddeleme (Çapraz-Haddeleme) için hassas soğuk haddehaneye girin. Çapraz-haddeleme, anizotropinin anlaşılmasını büyük ölçüde ortadan kaldırır ve bitmiş molibden levhanın daha sonraki kesme işleminde yırtılmamasını veya katmanlara ayrılmamasını etkili bir şekilde sağlar.

Çok-aşamalı hassas parlatma (resimde gösterildiği gibi): Molibden levha, segmental gerilim giderme tavlaması ile düzleştirildikten sonra, hassas taşlama diskine sabitlenir. İlk olarak, ilerici kaba taşlama için detaylı korindon zımpara kağıdı kullanılır ve son olarak özelleştirilmiş aşındırıcı kimyasal mekanik cilalama uygulanır. Parlatma (CMP), mikroskobik bıçak izlerini ve aşınma noktalarını tamamen ortadan kaldırarak yüksek yansımalı ve resimde gösterildiği gibi çiziksiz net bir ayna etkisi oluşturur.

Temiz oda yağının çıkarılması ve temizlenmesi ve film vakum koruması: Çok-kanallı ultrasonik yağın çıkarılması ve yıkanmasından sonra, çift-taraflı Koruyucu Film Kaplaması (Koruyucu Film Kaplaması), nakliye ve lojistikte çizikleri veya parmak izi oksidasyonunu önlemek için kuruduktan hemen sonra takılır, ayrıca vakumlu Plastik ambalaj, ahşap kutu yükleme ve teslimat.

IV. Sınır ötesi-son teknoloji-teknoloji uygulamaları (Yüksek-Değerli Piyasa Uygulamaları)

Yarı iletken ve elektronik vakum odası ısı yalıtımı (Yarı İletken Isı Kalkanları): Monokristal silikon büyütme fırınlarının ve MOCVD ekipmanlarının reaksiyon dış tarafında, kızılötesi ışınları yansıtmak ve kenardaki ısıyı dağıtmak için yüksek-saflıkta bir ısı yalıtım ekranı bileşeni olarak kullanılır.

Yüksek-hassas PVD Püskürtme Hedef Destek Plakaları: Yüksek elastik modülü, yüksek sertliği ve yüksek termal iletkenliği ile ince film biriktirme sistemlerinde yüksek-saflıkta yük-taşıma astarı olarak kullanılabilir.

Vakumlu Buharlaştırma ve Elektron Işını Vakum Elemanları: Vakumlu termal buharlaştırma kaplaması için yük-taşıma kapları, ısıtıcı yansıtma bileşenleri ve yüksek-güçlü elektrikli vakum tüpleri için anot izolasyon plakaları olarak yaygın şekilde kullanılır.