Tavlanmış-durum niyobyum küpü nedir?
Tavlanmış-durumdaki niyobyum küpüyle ilgili olarak, soğuk işlemden ve kesmeden sonra, niyobyum küpü büyük miktarda kesme iç gerilimini, kafes dislokasyonlarını, hidrojen-oksijen adsorpsiyon safsızlıklarını vb. tutacaktır;
Bu sorunu çözmek ve bu sorunları ortadan kaldırmak için niyobyum küpü tavlanmış-durum işlemine tabi tutulur. Tavlanmış-durumdaki niyobyum küpü, 800–1250 derece yüksek-sıcaklık tutma ısıl işlemine, yavaş sıcaklık{-kontrollü soğutmaya tabi tutulan, gerilim giderme, yeniden kristalleştirme, vakumla gaz giderme ve yüzey indirgeme ve oksit gidermeden oluşan dört işlemi tamamlayan ve daha sonra yumuşak-halde buharlaştırılmış bir malzeme haline gelen, yüksek vakumlu/yüksek-saflıkta hidrojen atmosferindeki bitmiş küpü ifade eder. Tavlanmamış soğuk-sertleştirilmiş niyobyum küpünden farklı, OLED, optik ve üst düzey yarı iletken buharlaşma kaplaması için belirlenmiş kalitedir.
Standart tavlama işlemi (vakum kaplama dereceli tavlanmış küpler)
1. Atmosfer: Vakum tavlaması (1×10⁻³ Pa'dan daha iyi) veya yüksek-saflıkta hidrojen parlak tavlaması; Yüksek sıcaklıklarda oksijen emilimini ve oksidasyonu önlemek için havadan izole edin
2. Sıcaklık aralığı
◦ Gerilim giderme tavlaması: 800–900 derece, kesme gerilimini ortadan kaldırır, yüzeyde emilen hidrojen ve su buharını giderir
◦ Yeniden kristalleşme tavlamasını tamamlayın: 1050–1300 derece, tane boyutunu inceltin, kafes safsızlıklarını tamamen serbest bırakın
3. Proses: Yüksek-sıcaklıkta tutma → Kademeli sıcaklık kontrollü yavaş soğutma → Fırında oda sıcaklığına soğutma → Yağdan arındırma ve temizleme → Vakumlu ambalajlama
Tavlanmış niyobyum kübik çekirdeğin avantajları (vakumlu kaplamanın sorunlu noktalarına çözüm)
1. Son derece düşük boşluklu gaz deşarj hacmiyle iç gazları tamamen çıkarın ve yüksek vakum stabilitesi sağlayın. Niyobyumun soğuk işlenmesi sırasında iç kafes H₂, N₂ ve eser miktarda su buharını tutacaktır. Elektron ışını yüksek-sıcaklık bombardımanı sırasında sürekli gaz deşarjı meydana gelir ve bu durum boşluk vakum seviyesinde dalgalanmalara ve filmde iğne delikleri, pus ve renk farklılıklarının ortaya çıkmasına neden olur.
Derin gazdan arındırma, yüksek-sıcaklıkta tavlama altında tamamlanır: büyük miktarda hidrojen, adsorbe edilmiş su ve arayer yabancı madde gazları serbest bırakılır, bu da vakum buharlaştırma işleminin zirve gaz çıkışını önemli ölçüde azaltır, stabil boşluk vakumunu korur ve çok-katmanlı optik filmlerin ve yarı iletken bariyer katmanlarının verimini önemli ölçüde artırır.
2. Yüksek sıcaklıktaki buharlaşma sırasında çatlama veya sıçrama olmadan, kesme artık gerilimini ortadan kaldırın. Tavlanmamış soğuk-sertleştirilmiş niyobyum, yoğunlaştırılmış iç gerilime sahiptir. Elektron ışınıyla yerel yüksek-sıcaklıkta ısıtma sırasında gerilim açığa çıkar, bu da parçacıkların çatlamasına ve döküntülerin sıçramasına neden olur, potayı ve alt tabakayı kirletir, film kalınlığında ani değişikliklere neden olur ve hedef malzeme kaybını hızlandırır. Tavlamanın ardından kafes yeniden yapılandırılır ve gerilim tamamen ortadan kaldırılarak malzeme daha yumuşak ve daha esnek hale gelir; uzun-dönemli yüksek-sıcaklıktaki elektron ışını bombardımanı altında, tüm malzeme çatlama veya parçalanma olmadan eşit şekilde ısıtılır ve buharlaşma hızı doğrusal olarak stabildir, film kalınlığında tutarlı tekrarlanabilirlik ve tutarlılık vardır ve sürekli panel üretim hatları için uygundur.
3. Filmdeki oksijen yabancı maddelerini azaltarak yüzey oksit katmanını çıkarın. Oda sıcaklığında niyobyum kolayca eser miktarda Nb₂O₅ oksit tabakası oluşturur. Tavlanmamış hammadde buharlaşması, oksitlerin eşzamanlı buharlaşmasına neden olur, bu da metal niyobyum filminde aşırı oksijen içeriğine ve iletkenlikte azalmaya neden olur; Nb₂O₅ optik filmleri hazırlarken kırılma indisi dalgalanması ve spektral kayma meydana gelir. Hidrojen tavlaması yüzeydeki oksit katmanını eski haline getirebilir, vakumlu tavlama yüzeydeki oksijenin alt tabakaya düzgün bir şekilde dağılmasını sağlar, bu da serbest oksit tabakası olmayan temiz bir yüzey, buharlaştırılmış filmde kontrol edilebilir safsızlık içeriği, optik parametreler ve iletken parametrelerde güçlü parti tutarlılığı ve yüksek-hassas optik kaplama ve yarı iletken film biriktirme için uygunluk sağlar.
4. Düzgün tane incelmesi, düzgün ısı iletimi, kararlı ve kontrol edilebilir buharlaşma hızı. Soğuk-işlenmiş niyobyum taneleri, yerel ısı iletiminde önemli farklılıklarla birlikte, çarpık ve düzensiz boyuttadır. Elektron ışını bombardımanı sırasında yerel aşırı-erime veya yetersiz buharlaşma meydana gelir; tavlamadan sonra yeniden kristalleşme tamamlanır, kübik parçacıklarda dengeli termal iletkenliğe sahip, eş eksenli ince-tanecikli yapı oluşturulur ve potadaki tüm malzeme grubu aynı anda buharlaşarak elektron ışın gücünün sık sık ayarlanması ihtiyacını ortadan kaldırır, işlem hata ayıklama maliyetlerini azaltır ve yüksek-hassas optik kaplama ve yarı iletken film biriktirme için uygundur.
5. Yüksek-sıcaklık kaymasına karşı dayanıklıdır, uzun süreli buharlaşma sırasında çökmeye veya deformasyona- eğilimli değildir. Tavlanmış niyobyum, geliştirilmiş plastikliğe ve daha güçlü-yüksek sıcaklıktaki yapısal stabiliteye sahiptir. Uzun-süreli yüksek sıcaklıkta kaldıktan sonra pota yumuşamayacak ve çökmeyecek veya topaklanma oluşturmayacak ve dolum yoğunluğu değişmeden kalacak, malzeme yenileme için makine aksama süresinin sıklığı azaltılacak ve üretim hattı kullanım oranı iyileştirilecektir; Sert niyobyumla karşılaştırıldığında sürekli buharlaşma ömrü %30'dan fazla artar.
Özel ihtiyaçlara sahip çubuk, levha, küp veya çekme ile ilgili yukarıda tavlanmış niyobyum ürünleriniz olduğunda bizimle iletişime geçin
Adresimiz
Baoji şehri, Shaanxi eyaleti, Çin
Telefon Numarası
0086-18291730106
E-posta
